FS-Pro半导体参数测试系统

FS-Pro 釆用工业通用的 PXI 模块化硬件架构，系统扩展性强， 还支持多通道并行测试，可进一步提升测试效率。系统内置专业测试软件 LabExpress 为用户提供了丰富的测试预设和强大的测试功能，可实现非常友好的用户即插即用体验。

FS-Pro 可广泛应用于各种半导体器件、LED 材料、二维材料器 件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。

基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro 不仅被众 多芯片设计公司和代工厂、IDM 公司釆用，其全面的测试能力更在科研学术界受到了广泛关注和认可，目前已被数十所国内外高校及科学研究机构所选用。

应用范围：

被半导体工业界和众多知名大学及科研机构釆用作为标准测试仪器

集成功能：

高速高精度 IV/CV测试能力

脉冲式 IV测试能力

任意线性波形发生与测量能力

高速时域信号釆集能力

与 9812 对准的低频噪声测试能力

使用方式：

通过内置专业软件 LabExpress 的丰富功能实现测试

操作简单灵活，无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随

系统架构：

PXI标准机箱，可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量

支持并行测试：

内置功能强大的测试算法

支持多通道并行测试

成倍提升测试效率

硬件规格：

宽量程：200V 电压，1A 直流电流

高精度：30fA 精度，0.1fA 灵敏度

噪声测试带宽：高精度最高 100kHz，超低频最高 40Hz

噪声测试速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 频率分辨率）

内置脉冲测试：200V 电压，3A 脉冲电流，最小 50us 脉宽

内置 CV测试：200V/10kHz，最低可测至 20fF

外置 CV 测试模块：40V/2MHz（高精度型）

                              40V/10MHz（高带宽型）

高速时域信号采集：最小采样时间 < 1us，10 万点数据

噪声测试最小阻抗：500Ω

噪声测试分辨能力：最低 2e-28A2/Hz

噪声测试频率分辨率：高精度 0.1Hz，超低频 0.001Hz

高精度快速波形发生与测量套件 ：2 通道，SMA 接口

                                                       快速 IV 测试：±10V 电压，最大 10mA 电流

                                                       SMU 直通：±25V 电压输入，最大 100mA 电流

                                                       100MSa/s 采样率，最小推荐脉冲宽度可达 130ns

软件功能：