日置LCR测试仪和功率分析仪在半导体器件测试中的应用

       半导体在我们熟悉的集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、汽车电子、大功率电源转换等领域都有应用，而日置HIOKI的测试仪器如功率分析仪、存储记录仪、数据采集仪、电池测试仪、LCR测试仪、阻抗测试仪等也在这些领域担任着重要的测试任务。

　　日置HIOKI在半导体C-V测试上应用

　　那么日本日置产品在半导体元器件(或集成电路)测试中的应用有哪些呢?以晶圆级MOSFET为例，晶圆电容-电压(C-V)特性曲线测试是半导体参数测试中的比较关注的一部分，CV频率范围根据不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高频段，通过上位机软件在固定频段下以0.1V或者0.5V的步进扫描电压测试C值，电压范围有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方软件控制)

　　通过C-V测量还可以对其他类型半导体器件和工艺进行特征分析，如：BJT晶体管，二极管与PN结，III-V族化合物，二维材料，金属材料，光子检测器件，钙钛矿与太阳能电池，LED与薄膜晶体管，非易失性存储器与材料，MEMS与传感器，分子与纳米器件，半导体器件特性分析与建模，器件噪声特性分析以及检测工艺参数和失效分析机制等。

　　扩展应用

　　半导参数测试中除了CV电容电压特性曲线测试，还有IV电流电压特性曲线测试，可以将LCR测试仪IM3536搭配皮安表SM7110以及其他测试仪器进行系统集成。

　　日本日置在半导体行业的产品介绍

低频阻抗分析仪IM3590

　　用于测试器件、材料等

　　针对DC以及1mHz~200kHz范围内的频率带宽可设置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能够进行共振频率的测量和在接近工作条件的状态下进行测量、评估。

　　测量频率1kHz，测量速度FAST时，可达zui快2ms。有助于扫频高速化。

　　Z的基本精度是±0.05%。从零部件检查到研究开发的测量，都能达到推荐精度。

LCR测试仪IM3536

　　直流偏置电压高达±500V

　　测量频率DC，4Hz~8MHz

　　测量时间：zui快1ms

　　基本精度：±0.05% rdg.

　　mΩ以上的精度保证范围，也可安心进行低阻测量

　　可内部发生DC偏压测量

　　从研发到生产线活跃在各种领域中

高频阻抗分析仪IM7587

　　可稳定测量高达3GHz的阻抗

　　测试电压测量频率：1MHz~3GHz

　　测量时间：zui快0.5ms(模拟测量时间)

　　测量值偏差：0.07%(用3GHz测量线圈1nH时)

　　基本精度：±0.65% rdg.

　　紧凑主机仅机架一半大小，测试头尺寸仅手掌大小

　　丰富的接触检查(DCR测量、Hi-Z筛选、波形判定)

　　分析模式下可以边扫描测量频率、测量信号电平边进行测量

       以上就是日置LCR测试仪和功率分析仪在半导体器件测试中的应用，欲了解更多信息，欢迎登录安泰测试进行咨询访问。