吉时利源表高功率半导体器件检定测试方案

　　一、测试原理

　　开发和使用MOSFET、IGBT、二极管及其他大功率器件，需要全面的器件级检定，如击穿电压、通态电流和电容测量。Keithley高功率参数化曲线跟踪仪支持所有的器件类型和测试参数。Keithley高功率参数化曲线跟踪仪包括检定工程师快速开发全面测试系统所需的一切。ACS-Basic基本版软件提供了完整的器件特性分析，包括实时跟踪模式及全部参数模式，实时跟踪模式用来迅速检查基础器件参数，如击穿电压；全部参数模式用来提取精确的器件参数。

　　二、测试平台搭建

　　三、测试说明

　　从实验室到工厂，从晶圆级到独立封装器件!

　　为最优性价比设计的一体化完整解决方案：从测试设置到分析结果!

　　四、方案配置

　　硬件：上至3kV/100A的功率电平，下至uV/fA级别小信号的宽动态范围;(SMU,4200,PCT,S500多硬件平台覆盖)

　　软件：ACS-Basic支持各种Keithley仪器，用于半导体器件检定、可靠性测试、参数化测试以及元器件功能测试;

　　夹具：传统连线测试夹具、8010高功率器件测试夹具、手动/自动探针测试台

　　特点: 从实验室科研级别的单台SMU源表到适用于高功率半导体器件检定的完整测试方案再到适用于自动晶片级测试系统。Keithley均能为您提供最优性价比的完整解决方案。

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