吉时利2450源表在薄膜材料电阻率测试中的应用

最近，我遇到了一个关于测试薄膜材料电阻率的项目。客户需要一个探针台，并且需要配备一台仪器来进行电阻率测试。为了满足客户的要求，我决定采用四探针法加上源表的方法来进行薄膜材料的电阻率测试。

　　四探针法是一种常用的测试电阻率的方法，它通过使用四个探针来测量薄膜材料的电阻。这种方法可以减少接触电阻的影响，提高测试的准确性。而源表则是一种用于电阻测试的仪器，它可以提供稳定的电流源和精确的电压测量，从而实现精准的电阻率测试。

　　测试方案搭配：

　　方案一：

　　探针台+源表

探针台示意图

源表示意图

　　搭配示例：

　　广州四探针RTS-2型台子：

　　基本指标：

　　间距：1±0.01mm；

　　针间绝缘电阻:≥1000MΩ；

　　机械游移率:≤0.3％；

　　探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；

　　探针压力：5～16牛顿(总力)；

　　吉时利2450源表：

　　原理简述：

　　什么是电阻率？

　　一种材料的电阻率表征的是阻碍电流流过的能力的大小。其单位为Ω·m/Ω·cm。如果电流很容易在某种材料中流过，那么该材料有较低的电阻率；如果电流很难流过某种材料，那么该材料有较高的电阻率，电阻率为材料的本质物理属性，与大小和形状无关。

　　常见材料电阻率：

　　薄膜材料电阻率测试----方块电阻：

　　ρ：单位Ω·m

　　V:测得的电压

　　I：测得的电流

　　W:宽

　　H:高

　　L:长

　　补充：

　　•通常需要测各种材料的薄膜或薄片电阻，如果材料可以做成长方形，那么就可以像测量条状样品一样测量电阻率；

　　•有一种特殊情况，当W宽度和L长度相等时，此时材料为正方形，电阻值被称为方块电阻Rs，即表面电阻率。

　　薄膜材料电阻率测试----四探针法：

　　•对于任意形状和任意大小的薄膜材料，比较方便的方法是四探针法

　　•要求：

　　①四点共线②四根针等间距③材料长度和宽度远大于探针间距。

　　测试提示：

　　探针接触方式

　　探针接触应保持一定的压力，但不同材料的性质不同，有些材料的电阻率会随外加压力变化而改变，因而测试前要依据具体的测试材料而适当的改变探针压力。首先用粗调键旋转探针至样品表面，略有压力后停止。再细调一定距离，保证测量时表面读数稳定后即可。

　　总而言之，为了满足客户的需求，我决定采用四探针法+源表的方法来进行薄膜材料的电阻率测试。这种方法可以提供准确的测试结果，并且避免了接触电阻的影响。通过这种方法，我们可以为客户提供高质量的测试服务。